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    半導體行業用超純水設備

    名稱 :半導體行業用超純水設備


    編號 : QHRO--5


    分類 : 半導體行業用超純水設備

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    半導體行業用超純水設備首選東莞謙和水處理,謙和水處理專業生產超純水設備,純水處理設備,去離子水設備。

    半導體行業用超純水設備的水處理系統工藝流程如下:                        

    市政自來水→源水箱→源水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→保安過濾器→高壓泵 →反滲透系統→中間箱→增壓泵→紫外線殺菌器→微濾器→EDI裝置→純水箱→氮封無菌儲水箱→增壓泵→拋光混床→用水點

    一、   工藝概

    1.預處理:

    預處理主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體和余氯等,以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質過濾、活性碳吸附,減少RO工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。預處理系統包括:源水箱、源水泵、多介質過濾、活性碳過濾。

    2.源水箱:

    源水首先流入源水箱。源水箱對源水的供給起到緩沖作用,協調源水的供給量與源水泵的輸入量。當源水的供應量超過源水泵的輸水量時,源水箱水滿,通過源水箱的液位控制使用源水供給停止。當源水供應量小于源水泵的輸水量時,源水箱空,源水泵停止運行,起到保護源水泵的作用。

    3.源水泵:

    本系統配置一臺多級立式CHL4-40型特種離心水泵,用于對源水加壓,為預處理系統提供動力源,該泵單臺流量4.0m3/h,揚程40m,功率0.75kw,材質為不銹鋼。該泵具有體積小,高效率,低噪音等特點。 

    4.多介質過濾器:

    本系統是對源水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行去除,同時對源水中的濁度、色度起到降低作用,它可濾掉源水帶來的顆粒、藻類等可見物。

    多介質過濾是一種先進的微絮凝過濾方式,本公司提供的多介質過濾器含有材質各異的多層過濾介質,完全能濾除不溶于水中的雜質,保證SDI值不大于4,是后級RO的強有力保護屏。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子(氧化物、濁度、顆粒物等),具有低成本,操作維護、管理方便等特點,特別是在降低源水中的濁度、污染指數等方面具有很好的效果。

    該系統設置一臺玻璃鋼多介質過濾器,規格為φ16×65″,過濾器內填精制的具有良好的級配石英砂和無煙煤,濾層高度一般≥1000mm,在正常工作情況時,正常流速8-12m/h,總產水量為3.5m3/hr。

    多介質過濾器反洗周期時間為16-48小時。反洗以壓力參數設備來控制反沖洗周期,當進出水母管上的壓力差達到0.7kg/cm2時即停止運行進行反沖洗,通過多路閥控制器進行濾器順序反洗、氣擦洗、正洗工藝過程。

    5.活性炭過濾器:

    活性炭工藝在水處理領域中占有相當重要的地位,是水深度處理中不可缺少的工藝,它所具有的某些特殊功效是其它水處理工藝所無法替代的。

    去色:可去除由鐵、錳及植物分解生成物或有機污染物等所形成的色度。

    脫氯:可去除因余氯所造成的嗅味。

    去除有機物:可去除由于水源污染而常規工藝又無法去除的水中微量污染物,如農藥,殺蟲劑,氯化烴,芳香族化合物,以及BOD與COD等。

    去除有機氯:可去除在源水凈化過程中及自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑(如氯氣)所產的THMS等“三致”物質。有分析表明,自來水中“三致物質THMS占去大半,有效的去除對于提高水質量十分關鍵。

    去除氨氮和亞硝酸鹽:活性炭可有效去除氨氮和亞硝酸鹽。去除剩余氯或氧化劑,保護超濾、反滲透的濾膜,另外,它還可以除臭,去除水中的微量重金屬離子(如汞、鉻等離子),合成洗滌劑及放射性物質等。

    為保證系統設備穩定運行、出水水質及出水流量、故障排除、反洗等穩定因素,該系統配置一臺玻璃鋼活性炭過濾器,規格為φ16x65″,過濾器內填精制果殼型活性炭,在正常工作情況時,正常流速10-15m/h,濾層高度一般為≥1000mm,總產水量3.5m3/hr。

    純水處理:

    保安過濾器:

    經過前面的石英過濾器、活性炭過濾器之后,源水中大顆粒懸浮物已基本被除去,而一些小顆粒懸浮物則沒有被除去。在這里,再進行一次微濾,去除5μm以上的懸浮物,以保護RO膜不被堵塞。同時,一些活性炭細沫也被截留在反滲透系統之外。保安裝過濾器進出口設壓力指示表,當壓差增大到設定值時更換濾芯。 

    高壓泵

    高壓泵的反滲透設備的主要動力設備,高壓泵應設置高過熱保護,泵前后分別設置低、高壓保護開關。當高壓泵進水壓力低于設定值后,高壓泵停運,以保護高壓泵,當高壓泵出口壓力高于設定值后,高壓泵停運,以保護反滲透膜。

    反滲透裝置

    反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分,經反滲透處理的水,能去除絕大部分無機鹽、有機物、微生物等。設計的合理與否直接關系到項目的投資費用,整個系統運行經濟效益,使用壽命,操作可靠簡便性。反滲透膜均采用先進的超低壓復合膜,單根脫鹽率達99.8%。當系統設計溫度為25℃時,考慮到源水水質變化以及膜的使用壽命等因素,本系統采用4英寸的復合RO膜,安裝在不銹鋼壓力容器內。RO膜數量:8支,產水量:2m3/h;回收率:60-75%,脫鹽率:99%。

    RO系統回收率在60-75%以上,系統脫鹽率不小于98%。在本項目中,考慮到設備的節能、運行壓力、膜的透過率、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素,我公司推薦采用美國陶氏公司的4040型反滲透膜。

    本公司生產的反滲透純水機的特點如下。

    a.本公司反滲透主機系列具有自動化程度高、占地面積小、安裝方便、經濟實用等特點。

    b.本系列主機配有一個完整的控制盤,自動控制高壓泵的起停及自動低壓保護,自動快速反沖洗等功能,實現完全自化,無需日常維護。所采用的美國源裝進口RO 膜可去除水中所有細菌、大腸肝桿菌、重金屬、有機物等有害物質,脫鹽率>99%。

    c.該系列主機在系統設計上采用全封閉、全自動化、組合式的設計。其過濾、制水、反沖洗、試壓檢漏、清洗、故障報警等處理過程以及水質監測(電率儀顯示)、工作指示等全部為自動控制,運行管理簡便。廣泛應用于工業純水、超純水的生產工藝上。

    EDI系統

    源水經RO反滲透系統處理后,利用增壓泵進入EDI系統:RO對2價以上的離子,如Ca2+、Mg2+等具有很高的脫鹽率,因而可有效降低源水硬度,有利于EDI膜堆長期穩定運行;同時有利于EDI淡水室水的解離,產生足夠的H+和OH-,從而實現對離子交換樹脂的電化學再生,使相當一部分樹脂處在交換-再生平衡狀態,即不必用酸、堿對樹脂進行化學再生,且離子交換樹脂用量僅相當于傳統工藝的5%,既降低了合成樹脂的消耗量,又避免了因樹脂再生使用大量酸堿所造成的高運行成本和高污染。
    樹脂床利用加在室兩端的直流電進行連續地再生,電壓使進水中的水分子分解成H+及OH-,水中的這些離子受相應電極的吸引,穿過陽、陰離子交換樹脂向所對應膜的方向遷移,當這些離子透過交換膜進入濃水室后,H+和OH-結合成水。這種H+和OH-的產生及遷移正是樹脂得以實現連續再生的機理。

    當進水中的Na+及CI-等雜質離子吸附到相應的離子交換樹脂上時,這些雜質離子就會發生像普通混床內一樣的離子交換反應,并相應地置換出H+及OH-。一旦在離子交換樹脂內的雜質離子也加入到H+及OH-向交換膜方向的遷移,這些離子將連續地穿過樹脂直至透過交換膜而進入濃水室。這些雜質離子由于相鄰隔室交換膜的阻擋作用而不能向對應電極的方向進一步地遷移,因此雜質離子得以集中到濃水室中,然后可將這種含有雜質離子的濃水排出膜堆。

    在典型的EDI系統中,進水的90-95%直接通過淡水室,5-10%的進水被分配進濃水室。濃水用泵打循環并使其在膜堆中達到較高的流速,這樣可以起到提高除鹽效率、促進水流的混合、降低可能的結垢等作用。濃縮離子可以通過從濃水循環回路中排除一定比例的水后而從膜堆中除去,這種PH在5-8的水可以回收或直接打回到預處理系統的入口。在電去離子的過程中,將進水中的雜質離子去除后即制得高品質的除鹽水。

    EDI的優點

    本系統采用CONPURE品牌的EDI膜塊,此EDI在水處理系統中可替代現有的混床,它能夠連續穩定地制出高純度的水。EDI的優點在于不用化學藥劑進行再生,因而不需要化學再生藥劑貯存罐及相應的中和池,而且無須對有害的化學廢水進行收集、貯存及處理,結果使EDI大大的簡化了系統。

    還有一個優點是,EDI排出的濃水中僅含有進水中的雜質成分,通常這種水的水質比預處理系統的進水水質要好,故濃水可以直接排至RO的入口,這樣就有效地消除了對廢水的排放。相反,混床的再生是個一次性的過程,由于使用化學藥劑再生樹脂床,其廢液中含有比一般EDI濃水高3-4倍的廢棄離子,這類廢液通常不回收到預處理系統中,而是排放于廢水中和池內。

    控制方式

    本方案總控制為自動化,采用進口正泰電器元件。實現水處理自動化是提高企業管理水平,減輕操作人員勞動強度,方便操作管理,保證水處理質量和安全生產、節約能耗、降低生產成本的重要措施。水處理的自動化控制系統主要根據液位、流量、壓力等信號通過電器來控制泵及閥的運行狀態,并能根據工藝要求及設備運行參數的變化自動或提示操作人員控制設備的運行。

    純水箱均裝有液位控制器,通過電器來控制與水箱連接的泵的啟停。

    反滲透單元是純水處理工藝中的預脫鹽系統,在其進水管、純水管、濃水管安裝控制閥、壓力計、流量計,監視和控制該單元的運行、清洗,確保反滲透單元在滿足工藝要求的范圍內。

    東莞市謙和水處理工程有限公司提供井水處理設備,去離子水設備,超純水設備,歡迎前來選購!

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